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無(wú)塵室等級(jí)劃分介紹

【無(wú)塵室小知識(shí)】：
依據(jù)美國(guó)聯(lián)邦政府頒布的標(biāo)準(zhǔn)【Federal Standard (FS) 209E, 1992】，?？蓪o(wú)塵室分為六級(jí)。分別是1級(jí)、10級(jí)、100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)、100000級(jí)，如果無(wú)塵室的等級(jí)只用塵粒數(shù)目來(lái)敘述，則可假設(shè)塵粒的尺寸為0.5μm，例如，1級(jí)、10級(jí)、100級(jí)無(wú)塵室*大塵粒數(shù)目分別小于或等于1顆、10顆、100顆，如果塵粒尺寸不是0.5μm，無(wú)塵室等級(jí)應(yīng)以在一特定塵粒尺寸的級(jí)數(shù)來(lái)表示。
簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō)，舉例說(shuō)明我們熟悉的無(wú)塵室的要求和環(huán)境：
1級(jí)，目前國(guó)內(nèi)很少。
10級(jí)，部分無(wú)塵布工廠、晶圓工廠的部分制程、硬盤(pán)工廠的部分特殊制程。
100級(jí)，液晶屏Panel制程、硬盤(pán)工廠大部分制程、半導(dǎo)體測(cè)試和封裝的大部分制程。
1000級(jí)，液晶屏LCM制程、硬盤(pán)工廠后道制程、半導(dǎo)體封裝后道制程、部分電子廠部分制程。
10000級(jí)及以下，比較多場(chǎng)合，包括制藥廠GMP車(chē)間（另多了無(wú)菌要求）。

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無(wú)塵室等級(jí)劃分介紹

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